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固态硅压阻压力传感器的优点
压力传感器 2020-12-26 142

固态硅压阻压力传感器的优点:
(1) 灵敏度高
  硅应变电阻的灵敏因子比金属应变片高50~100倍,故相应的压力传感器灵敏度很高,一般满量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,应用成本相应较低。由于它是一种非机械结构传感器,因而分辨率极高,国外称之无限,即主要受限于外界的检测读出仪表限制及噪声干扰限制,一般均可达传感器满量程的十万分之一以下。硅压阻传感器在零点附近的低量程段无死区,且线性优良。

沧正压力传感器CAZP-102

(2) 精度高
  由于固态压阻压力传感器的感受,敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,所以不重复性和迟滞误差极小。同时由于硅单晶本身刚度很大,形变很小,保证了良好的线性,因此综合静态精度很高。

(3)体积小、重量轻、动态频响高
  由于芯体采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。小尺寸芯片加上硅极高的弹性模数,敏感元件的固有频率很高。在动态应用时,动态精度高,使用频带宽,合理选择设计传感器外型,使用带宽可以从零频至100千赫兹。

(4)温度系数小
  由于微电子技术的进步,四个应变电阻的一致性可做的很高,加之激光修调技术、计算机自动补偿技术的进步,目前硅压阻传感器的零位与灵敏度温度系数已可达10-5/℃数量级,即在压力传感器领域已超过温度系数小的应变式传感器的水平。

(5)性能稳定、可靠性高
  由于固态压阻压力传感器工作弹性形变低至微应变数量级,弹性薄膜最大位移在亚微米数量级,因而无磨损、无疲劳、无老化。寿命长达107压力循环次以上。

(6)安全防爆
  由于固态压阻压力传感器低电压、低电流的低功耗特点,它是本质安全防爆型产品,可广泛用于各种化工工业检测控制等领域,具有最优性价比。

(7)适应介质广
  由于硅的优良化学防腐性能,与硅油的良好可兼容性,使得隔离式结构易于实现,即使非隔离型的压阻压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。

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